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ULVAC RF射频电源维修:本ULVAC爱发科多室式溅射设备ENTRON系列,广州深圳Nishizaki供应维修 日本ULVAC爱发科多室式溅射设备ENTRON?系列
详情介绍:
多室式溅射设备 ENTRON?系列 多室溅射系统ENTRON?是连接各种工艺的新平台。 作为优异模型溅射设备,实现了高生产力和节能的优化平衡,可对应下一代产品进行应用扩展。 产品化模块包括先进的PVD,CVD,ALD,以便通过爱发科独有的技术进行精细布线。
爱发科干泵ULVAC HR60维修保养
特长
● 低温领域下的均热化。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
● 多种自主功能选购件
用途
◆ 活性气体
◆ 非活性气体
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气
◆ 作为前级泵使用
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气
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