TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整

发布日期：2023-08-24 浏览次数：371

TEGAL421等离子刻蚀机射频电源的维修及调整rTEGAL421等离子刻蚀机射频电源的电路图如下:
各部分电路的作用,DC Power Supply Board板是一块电源板提供射频源工作所需。

AE 、ENI（MKS）、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTEC 、SEREN 、 HUTTINGER。技术人员有AE公司16年以上工作经验，
累计维修电源和匹配器约2000台，有MKS原厂工作12年的资深工程师。公司维修所采用的零部件等材料均为原装进口。公
司服务宗旨是：“精益求精，品质”。维修快可以当天完成，公司提供更长的质保期和更优质的保修服务。